プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置
仕様
| メーカー | 日本ビーテック 特別仕様 |
|---|---|
| 性能 | クラスターサイズ 直径3~15nm |
| 機能 | 直流マグネトロンスパッタリング方式 |
直流マグネトロンスパッタリング方式の原料気化装置と希ガス中凝縮装置を組合せたナノクラスター試料作製装置で、直径3~15nmの遷移金属クラスターが作製可能です。このクラスター堆積装置は、Ar分圧100~500Paでグロー放電を維持しながら差動排気により高真空中でナノサイズの金属・酸化物クラスターを基板上に堆積します。
特徴
(1)直径2~15nmのサイズ単分散性の良いクラスターが作製可能、(2)不純物の混入が少ない、(3)高融点材料にも適応可能である、等の特徴があります。さらに、堆積時に微量の反応性ガスをチャンバー内に導入することで、コアシェル型クラスターが作製できます。また、2源クラスター堆積装置を用いることで、化学的安定性が向上したFe/SiやCo/Si等のコアシェルクラスター、触媒高機能化に有望な遷移金属のバイメタルクラスター等が作製できます。
