高分解能透過電子顕微鏡
仕様
| メーカー | 日立製作所(株)社製 HF-2000 |
|---|---|
| 性能 | 冷陰極電界放出型、加速電圧:200 kV 分解能:0.1 nm、EDX分析 スロースキャンCCDカメラ |
| 機能 |
日立製作所製HF-2000の高分解能透過電子顕微鏡です。冷陰極電界放出型の電子銃を備え、加速電圧200kV、分解能0.1nmにおける観察が可能です。EDXによる化学分析、スロースキャンCCDカメラによる像の取り込みに対応してます。また、試料加熱ホルダーも備えており、室温から400℃まで温度領域でTEM観察が可能です。
特徴
冷陰極電界放出型の電子銃を用いることで、従来の熱電子銃と比べて電子源輝度が1000倍と高輝度で、エネルギー幅が0.3 eVと小さく干渉性の高い入射電子線が得られます。これによって材料のナノメータ領域（1 nm Φ）のX線分析を行なうことができます。また、バイプリズムが組み込まれており、電子線ホログラフィー観察が可能です。
