原子間力顕微鏡

仕様

メーカー	島津製作所社製 FTM-9600
性能	分解能:水平0.2nm 垂直0.01nm
機能	ダイナミックモード、位相モード、電流モード、水平力モード、磁気力モード、表面電位モード

AFM（Atomic Force Microscope、原子間力顕微鏡）は、プローブ（探針）と試料との間に生じる原子間力を測定することで試料表面の凹凸を観察する顕微鏡です。

一般的なレーザ顕微鏡の倍率は1万倍程度であるのに対し、AFMの場合には同0.1nmの分解能を持っています。つまり、まず低倍率で視野の広いレーザ顕微鏡を使って観察したい場所を素早く絞り込み、すかさず高倍率の走査型プローブ顕微鏡に切り替えて詳しく観察するという作業を1台でこなすことができます。

測定したいサンプル状態により、コンタクトモード、ダイナミックモード、位相モードから選択して測定が可能です。前2者は垂直方向の変位を取得するモードであるのに対し、位相モードはカンチレバー振動の位相の遅れを4つの信号として取得するため、試料表面の物性の違いを映像化することができます。