精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置

仕様
メーカー | 日本電子(JEOL)、JSPM-5200TM |
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性能 | 特型、分解能:原子分解能、CNF探針装備 測定モード:形状、電気特性、磁気特性測定 |
機能 |
局所的な精密形状(AFM)測定(分解能:原子分解能)、磁気特性測定(MFM)、電気特性測定が可能な走査プローブ顕微鏡です。大気中だけでなく、真空中での測定も可能です。測定モードには、コンタクトモード、ACモード、ノンコンタクトモードがあり、凹凸像、位相像、振幅像、フォースカーブ測定、I-V測定、point by point MFM測定などを行うことができます。試料の大きさは10mm × 10mm × 3mm以下で、走査範囲は、XY:0~20μm、Z:0~3μmが可能です。試料をセット後、アイコンを順番に選択していくことで、簡単に測定を行うことができます。
特徴
探針には各メーカの探針を使用できますが、カーボンナノファイバー(CNF)探針(挿入写真参照)も利用することができます。このCNF探針は、直径が細く、アスペクト比が極めて高いので、凹凸の激しい試料でも、高分解能の像を簡単に得ることができます。また、耐久性に優れているので、長時間の測定も安定して行うことができます。
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