仕様

高真空タイプの走査電子顕微鏡です。予備ポートを備えており、研究用途に応じて、電気特性測定用の電流導入端子などを取り付けることができるようになっています。

• 電子線加速電圧：0.5~30 keV
• 分解能：3.5 nm
• 像モード：2次電子像、反射電子像
• 照射電流：1 pA~1μA

試料ステージは、ユーセントリックゴニオメータステージで、試料の移動範囲は、X方向：80 mm、Y方向：40 mm、Z方向43 mm、試料傾斜：-10~90度、無制限に試料回転可能です。試料サイズは、最大φ100 mm程度のものが観察可能です。試料交換は、ステージ引出式で、大口径の試料交換も容易に行うことができます。