原子分解能分析電子顕微鏡
仕様
| メーカー | JEM-ARM200F |
|---|---|
| 性能 | ピエゾ駆動探針装備 電気・機械特性測定 その場抵抗加熱 |
| 機能 |
冷陰極電子銃のＡＲＭ－２００Ｆです。
- 電子線加速電圧：200 keV
- 分解能：0.23 nm以下
- 像モード：高角度暗視野走査透過像（HAADF）、環状明視野走査透過像（ABF）
- プローブ電流：0.2nA以上（プローブ径0.136nm）
エネルギー分散型X線分析装置（EDS）と電子線エネルギー損失分光分析装置（EELS）が付設されています。
特徴
電界電子放射型冷陰極電子銃(CF銃)を有するSTEM-HAADF本体、エネルギー損失分光装置(EELS)、元素分析装置 (EDS)、デジタルCCDカメラで構成され、ナノ材料の原子レベルでの元素分析が可能です。特に、電池材料として重要なリチウムなどの系元素の分析が高感度に原子レベルで分析が可能なエネルギー材料の研究開発に貢献できます。
