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気相法、あるいは液相法により、金属、半導体ナノ粒子の合成を行います。ナノ粒子やその集積膜には、高い比表面積、量子サイズ効果、粒子間ネットワーク等により、バルク材料と異なるユニークな物性が現れます。本分野では各種高感度物性評価装置をそろえており、ナノ粒子の合成と共に、高周波透磁率、磁化測定、光吸収特性やバンドギャップ等の物性評価を実施します。
気相法の「プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置」は、スパッタリング法と希ガス中凝縮法を組合せたものです。このナノ粒子合成装置は、Ar分圧100～500Paでグロー放電を維持しながら差動排気により高真空中でナノサイズの金属・酸化物ナノ粒子を堆積するものであり、（1）直径2～15nmのサイズ単分散性の良いナノ粒子が作製可能、（2）不純物の混入が少ない、（3）高融点材料にも適応可能である、という他に例を見ない特徴があります。
気相合成法による金属ナノ粒子、液相法による半導体ナノ粒子の合成、コアシェル粒子やバイメタル粒子など複合粒子の試料作製を支援します。また、走査電子顕微鏡、UV/VIS/NIR分光光度計、振動試料型磁束計、高周波透磁率測定装置が利用可能です。磁性ナノ粒子、半導体ナノ粒子による光学デバイスに関する共同研究や技術相談、全固体リチウムイオン電池関連材料などのイオン伝導度や充放電特性評価に関する技術相談を行っています。
