支援一覧
試料の表面や界面の物性評価として、Ｘ線光電子分光（XPS）や飛行時間型2次イオン質量分析（TOF-SIMS）を用いた研究支援を実施します。これらの手法では特に数nmオーダーの極表面の情報を取得することができます。また、Arモノマービーム（主に無機物用）やArガスクラスターイオンビーム（GCIB；主に有機物用）のスパッタ銃を用いることで、深さ方向分析も可能です。
XPSでは元素の束縛エネルギーを見ることで、原子の電子状態（結合や価数など）を評価します。一方、TOF-SIMSではイオン化された質量を測定することで、分子構造を推定します。空間分解能や定量性など、それぞれの装置で得手不得手があるため、XPSとTOF-SIMSを使い分けることで、相補的な情報が得られます。
XPSは宮崎、TOF-SIMSは宮川・山本が担当します。それぞれの専門である、電子状態の観測手法や機能性材料・半導体材料の知見を活用した支援を行います。
