支援一覧

表面・界面物性分野

支援概要

試料の表面や界面の物性評価として、X線光電子分光(XPS)や飛行時間型2次イオン質量分析(TOF-SIMS)を用いた研究支援を実施します。これらの手法では特に数nmオーダーの極表面の情報を取得することができます。また、Arモノマービーム(主に無機物用)やArガスクラスターイオンビーム(GCIB;主に有機物用)のスパッタ銃を用いることで、深さ方向分析も可能です。

XPSでは元素の束縛エネルギーを見ることで、原子の電子状態(結合や価数など)を評価します。一方、TOF-SIMSではイオン化された質量を測定することで、分子構造を推定します。空間分解能や定量性など、それぞれの装置で得手不得手があるため、XPSとTOF-SIMSを使い分けることで、相補的な情報が得られます。

担当者

XPSは宮崎、TOF-SIMSは宮川・山本が担当します。それぞれの専門である、電子状態の観測手法や機能性材料・半導体材料の知見を活用した支援を行います。

宮川 鈴衣奈(助教)

宮川 鈴衣奈(助教)

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山本 義哉(特任助教)

支援一覧

  • 無機物、有機物、金属材料の構成元素の電子状態(結合、価数)をX線光電子分光(XPS)法により評価。
  • 無機物、有機物の分子構造を飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)法により評価。
  • XPS、TOF-SIMSともに Arモノマービーム(主に無機物、金属材料用)やArガスクラスターイオンビーム(GCIB;主に有機物用)による深さ方向の情報を取得可能。
  • 空間分解能や定量性など、それぞれの測定手法、材料で得手不得手があるため、XPSとTOF-SIMSを使い分けることで最適な情報を取得できるよう支援します。

使用装置

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